一種通過(guò)聚焦激光束測(cè)量氣膜孔的形位參數(shù)的方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010736560.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111854604B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111854604B 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) G01B11/00（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張曉寧;王建軍;訾進(jìn)鋒;吳平;劉國(guó)強(qiáng);楊小君;趙華龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安中科微精光子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安維英格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李斌棟;姚勇政
地址 710066陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦創(chuàng)匯路32號(hào)電子一車間301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種通過(guò)聚焦激光束測(cè)量氣膜孔的形位參數(shù)的方法和系統(tǒng)，該方法可以包括：將所述聚焦激光束在所述氣膜孔的孔壁內(nèi)表面上旋切掃描一周；掃描過(guò)程中采集所述孔壁內(nèi)表面產(chǎn)生的漫反射激光的表征量；相應(yīng)于所述聚焦激光束的焦點(diǎn)沿著所述孔壁內(nèi)表面移動(dòng)，根據(jù)所述漫反射激光的表征量獲取所述氣膜孔的形位參數(shù)。