太陽能真空管高選擇性吸收涂層的制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201010146222.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN101851070B | 公開（公告）日 | 2012-07-04 |
| 申請公布號(hào) | CN101851070B | 申請公布日 | 2012-07-04 |
| 分類號(hào) | C03C17/34(2006.01)I | 分類 | 玻璃；礦棉或渣棉; |
| 發(fā)明人 | 安百軍;安百盈;張振濤;劉建 | 申請（專利權(quán)）人 | 山東帥克新能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 276211 山東省蒙陰縣蒙陰鎮(zhèn)洪河頭村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種太陽能真空管高選擇性吸收涂層的制備方法，是采用磁控反應(yīng)濺射法，濺射氣體為氬氣，反應(yīng)氣體為高純氮?dú)夂退姆細(xì)怏w，設(shè)備使用一臺(tái)三靶磁控濺射鍍膜機(jī)，首先在玻璃管內(nèi)管外壁上磁控反應(yīng)濺射沉積一層的氮化鈦TiN紅外反射膜，再沉積一層氮化鋁-不銹鋼AlN-SS復(fù)合吸收膜，最后沉積一層鋁-碳-氟Al-C-F復(fù)合保護(hù)膜，最終形成Glass/TiN/AlN-SS/AL-C-F選擇性吸收涂層。 |
