納米多層復(fù)合涂層及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111400075.5 申請日 -
公開(公告)號 CN113817985A 公開(公告)日 2021-12-21
申請公布號 CN113817985A 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 譚志 申請(專利權(quán))人 武漢中維創(chuàng)發(fā)工業(yè)研究院有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 黎金娣
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山大道473號光谷新發(fā)展國際中心寫字樓B座第5、6層05-108室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種納米多層復(fù)合涂層及其制備方法和應(yīng)用。該納米多層復(fù)合涂層包括交替層疊設(shè)置的Cr?B?N層(化學(xué)組成為CrmBnN1?m?n)和Ti?Al?B?N層(化學(xué)組成為TixAlyBzN1?x?y?z),m、n、x、y和z為原子百分比,0.4≤m≤0.6,0.2≤n≤0.3,0.1≤x≤0.5,0.1≤y≤0.5,0.2≤z≤0.4,x+y+z<1。B有利于Cr?B?N形成纖維狀晶體結(jié)構(gòu),提高致密度和韌性;且B與TiAl合金易形成強金屬鍵,使其不易結(jié)晶,在薄膜生長過程中表現(xiàn)為逐層平鋪式生長模式,降低薄膜因晶體晶向生長而形成的高內(nèi)應(yīng)力,提高韌性和致密度,使該納米多層復(fù)合涂層兼具高硬度和高韌性。