納米多層復(fù)合陶瓷涂層及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111398807.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113817984B 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113817984B 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) C23C14/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 譚志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢中維創(chuàng)發(fā)工業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 周孝湖
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山大道473號(hào)光谷新發(fā)展國(guó)際中心寫字樓B座第5、6層05-108室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種納米多層復(fù)合陶瓷涂層及其制備方法和應(yīng)用。該納米多層復(fù)合陶瓷涂層包括交替層疊設(shè)置的Cr?B?N層（化學(xué)組成為CrxByN1?x?y）和Ti?B?N層（化學(xué)組成為TiaBbN1?a?b），x、y、a和b為原子百分比，0.40≤x≤0.80，0.10≤y≤0.30，0.40≤a≤0.80，0.10≤b≤0.30。B和N的原子半徑接近，化合價(jià)相差大，在薄膜生長(zhǎng)的過(guò)程，加入B后利于形成纖維狀晶體結(jié)構(gòu)，且B與Cr、Ti、N可以形成較強(qiáng)的鍵，部分B會(huì)取代N的位置，形成Cr?B?N、Ti?B?N固溶體，使氮化物不易生長(zhǎng)成柱狀晶，晶粒更細(xì)化，膜層更平整，納米多層復(fù)合陶瓷涂層兼具高硬度和高韌性。