一種氮化鎵晶圓的腐蝕裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011488898.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112599449A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112599449A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 喬焜;邵文鋒;林岳明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 國(guó)鎵芯科（深圳）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000廣東省深圳市福田區(qū)華富街道新田社區(qū)彩田路3030號(hào)橄欖鵬苑B座2706 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種氮化鎵晶圓的腐蝕裝置，涉及氮化鎵晶圓襯底缺陷測(cè)評(píng)技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的電氣控制組件、腐蝕槽以及第一機(jī)械臂，所述第一機(jī)械臂與電氣控制組件電性連接，所述腐蝕槽中盛放有強(qiáng)堿，氮化鎵晶圓放置在卡模上，所述卡模掛在第一機(jī)械臂上，通過(guò)電氣控制組件控制第一機(jī)械臂將氮化鎵晶圓浸入強(qiáng)堿、從強(qiáng)堿中取出以及控制氮化鎵晶圓在強(qiáng)堿中的浸泡時(shí)長(zhǎng)。本發(fā)明提供的一種氮化鎵晶圓的腐蝕裝置，通過(guò)機(jī)械設(shè)備操作氮化鎵晶圓腐蝕過(guò)程，保證操作人員的安全，簡(jiǎn)化腐蝕過(guò)程，提高測(cè)評(píng)效率。?? |
