一種氮化鎵反應(yīng)釜的分部清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022925146.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213856182U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213856182U 申請公布日 2021-08-03
分類號 B08B9/093（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 喬焜;邵文鋒;林岳明 申請（專利權(quán)）人 國鎵芯科（深圳）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)華富街道新田社區(qū)彩田路3030號橄欖鵬苑B座2706
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種氮化鎵反應(yīng)釜的分部清洗裝置，屬于一種清洗裝置和清洗方法，分部清洗裝置用于清洗至少具有釜蓋和釜體的反應(yīng)釜，包括清洗模組和管路系統(tǒng)，所述清洗模組至少包括若干用于清洗釜體的釜體清洗部、以及若干用于清洗釜蓋的釜蓋清洗部，所述管路系統(tǒng)將反應(yīng)溶液、水和高溫氣體依次地分別通入釜體清洗部和釜蓋清洗部，以釜體清洗部中的釜體和清洗釜蓋清洗部中的釜蓋；解決了現(xiàn)有技術(shù)的清洗裝置無法滿足大尺寸的反應(yīng)釜的清洗需求的問題。