一種氮化鎵腐蝕加熱槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023047074.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214060715U 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN214060715U 申請公布日 2021-08-27
分類號 C30B33/10（2006.01）I;C30B33/02（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 喬焜;邵文鋒;林岳明 申請（專利權(quán)）人 國鎵芯科（深圳）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)華富街道新田社區(qū)彩田路3030號橄欖鵬苑B座2706
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種氮化鎵腐蝕加熱槽，涉及氮化鎵晶圓襯底缺陷測評技術(shù)領(lǐng)域，包括開設(shè)在腐蝕裝置上的槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)置有耐腐蝕層，所述耐腐蝕層鋪設(shè)在槽體的底部和側(cè)壁，用于隔絕強(qiáng)堿和槽體，保護(hù)槽體不被強(qiáng)堿腐蝕，所述腐蝕層的底部設(shè)置有加熱板，用于對強(qiáng)堿進(jìn)行加熱，所述槽體的上方設(shè)置有用于關(guān)閉或打開槽口的蓋子。本實(shí)用新型提供的一種氮化鎵腐蝕加熱槽，在槽體內(nèi)設(shè)置純鎳金屬材料制成的耐腐蝕層，防止槽體及腐蝕裝置被強(qiáng)堿腐蝕。在耐腐蝕層外側(cè)設(shè)置隔熱層，隔熱保溫。在槽體上方設(shè)置蓋子，防止加熱時強(qiáng)堿揮發(fā)污染環(huán)境。通過機(jī)械設(shè)備操作氮化鎵加熱與腐蝕過程，保證操作人員的安全。