硅片生產(chǎn)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510072543.9 申請日 -
公開（公告）號 CN105990468A 公開（公告）日 2016-10-05
申請公布號 CN105990468A 申請公布日 2016-10-05
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙鵬 申請（專利權）人 河北流云新能源科技有限公司
代理機構 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 代理人 吳貴明;張永明
地址 071051 河北省保定市朝陽北大街3399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)。該硅片生產(chǎn)系統(tǒng)包括：濕法刻蝕設備，濕法刻蝕設備包括設備排風部與熱風干燥槽，熱風干燥槽具有傳送入口和傳送出口；臭氧氧化設備，設置在熱風干燥槽的下游，且臭氧氧化設備通過傳送出口與熱風干燥槽連通；濕法刻蝕設備還包括：隔板，設置在熱風干燥槽與設備排風部之間以至少部分地將二者隔離，使熱風干燥槽內的氣壓大于等于臭氧氧化設備內的氣壓。應用本發(fā)明的技術方案可以解決現(xiàn)有技術中臭氧與硅片提前反應并再經(jīng)過滾輪的碾壓而導致硅片表面的氧化層的薄厚不均的問題。