用于腐蝕機臺的噴淋系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921228257.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210092040U 公開（公告）日 2020-02-18
申請公布號 CN210092040U 申請公布日 2020-02-18
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 諸嘉豪 申請（專利權(quán)）人 無錫迪思微電子有限公司
代理機構(gòu) 無錫市朗高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫迪思微電子有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市太湖國際科技園菱湖大道180號-6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于腐蝕機臺的噴淋系統(tǒng)，包括：壓力罐、主噴頭、輔助噴頭，壓力罐出口接主管道，主管道的終端接三通閥，通閥的兩個出口分別接支管，兩個支管與主噴頭、輔助噴頭連接，且主噴頭、輔助噴頭可在對應的支管內(nèi)旋轉(zhuǎn)，壓力罐內(nèi)存儲有腐蝕液，腐蝕液順著主管道、三通閥進入到兩個支管內(nèi)，并通過主噴頭、輔助噴頭進行噴液，提高噴液流量；且由于兩個噴頭采用球形噴嘴，能夠輕易調(diào)節(jié)角度，以適應不同大小的掩膜版，用于調(diào)節(jié)腐蝕液在掩膜版面上的落點，用于彌補掩膜版中心與邊緣所出現(xiàn)的腐蝕速率差的問題，提高了腐蝕液噴灑的均勻性，因此產(chǎn)品的線寬均勻性有很大的提高。