一種掩模版架、掩模版架與掩模版間接觸電阻的檢測系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921275296.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210864316U 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN210864316U 申請公布日 2020-06-26
分類號 G03F1/64(2012.01)I 分類 -
發(fā)明人 黃宏君 申請（專利權）人 無錫迪思微電子有限公司
代理機構 無錫市朗高知識產權代理有限公司 代理人 無錫迪思微電子有限公司
地址 214000江蘇省無錫市太湖國際科技園菱湖大道180號-6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種掩模版架、掩模版架與掩模版間接觸電阻的檢測系統，版架上增設至少一對頂針，每對所述頂針中，一個頂針與所述版架絕緣，另一個頂針與所述版架導通連接，每對所述頂針用于與放置在所述版架上的掩模版的金屬層接觸，并利用電阻檢測器與所述至少一對頂針通過導線連接，本專利申請便于及時檢測掩模版架與掩模版之間的接觸電阻，如果接觸電阻過大，則需馬上重裝掩模版，直到接觸電阻小于預設值，從而有效避免產品因錯位而報廢、提高產品成品率，本結構結構簡單、成本低、操作方便，有效避免因裝版不達標而發(fā)生產品報廢情況的出現。??