掩模版保護(hù)膜的撬膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921385839.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210864315U 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN210864315U 申請公布日 2020-06-26
分類號 G03F1/62(2012.01)I;G03F1/64(2012.01)I 分類 -
發(fā)明人 張闖;嚴(yán)江偉 申請（專利權(quán)）人 無錫迪思微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市朗高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫迪思微電子有限公司
地址 214000江蘇省無錫市太湖國際科技園菱湖大道180號-6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供掩模版保護(hù)膜的撬膜裝置，包括：掩模溫控模塊，該模塊設(shè)置于下平臺內(nèi)；膜框冷卻模塊，位于上蓋板上且對應(yīng)膜框位置，用于對模框降溫；掩模版固定裝置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；連接件，用于連接上蓋板與膜框，上蓋板開啟時，帶動膜框、保護(hù)膜從掩模版上脫離，本專利申請利用掩模版加熱模塊對掩模版進(jìn)行加熱，在通過高溫將掩模版上的膠融化的同時，并利用液體冷卻給于膜框低溫特性，增強(qiáng)膠對膜框的粘性，從而使去膜過程中，既降低了膠對掩模鉻層帶來傷害的風(fēng)險，也減少了膠粘附在掩模版上的幾率。??