基于VGF法晶體生長用石英封帽、晶體生長裝置及晶體生長工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911411298.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110952133A 公開（公告）日 2020-04-03
申請公布號 CN110952133A 申請公布日 2020-04-03
分類號 C30B11/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙有文;沈桂英;段滿龍;楊俊;盧偉;劉鵬 申請（專利權(quán)）人 珠海鼎泰芯源晶體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東朗乾律師事務(wù)所 代理人 閆有幸
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)金鼎工業(yè)片區(qū)金園一路6號8棟廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種基于VGF法晶體生長用石英封帽、晶體生長裝置以及晶體生長工藝；所述石英封帽與石英管配合使用以實(shí)現(xiàn)石英管的密封，石英管內(nèi)密封有晶體生長用坩堝，坩堝內(nèi)盛裝有晶體生長用原材料，所述原材料與石英封帽之間設(shè)置有自由空間；石英管具有開口；所述石英封帽包括蓋住石英管的開口的蓋體；其特征在于，所述石英封帽具有溫控部，所述溫控部凸出所述蓋體向上，所述溫控部具有通向所述石英管的內(nèi)腔。通過對VGF法晶體生長用的石英封帽、晶體生長裝置以及加熱工藝的配合改進(jìn)，能夠比較容易的對自由空間的蒸氣壓進(jìn)行控制；讓自由空間的蒸氣壓始終處于穩(wěn)定的狀態(tài)，從而得到均勻摻雜的單晶體。??