一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822046164.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209261999U 公開（公告）日 2019-08-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN209261999U 申請(qǐng)公布日 2019-08-16
分類號(hào) F16B11/00 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 謝燕;劉勇;童嚴(yán);時(shí)堯成;戴道鋅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州天步光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)匯金三路東東南會(huì)1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，包括C型支架、底座導(dǎo)軌、晶圓承載臺(tái)、真空吸盤、真空導(dǎo)管、上蓋導(dǎo)柱、上蓋、水平調(diào)節(jié)模塊、下壓螺桿；C型支架包括有支架底座和彎折支架，在C型支架的支架底座上設(shè)有兩條底座導(dǎo)軌；晶圓承載臺(tái)底部嵌入底座導(dǎo)軌內(nèi)，晶圓承載臺(tái)中部設(shè)有真空吸盤，真空導(dǎo)管連接真空吸盤，晶圓承載臺(tái)上表面四個(gè)角上設(shè)有上蓋導(dǎo)柱；上蓋下表面四個(gè)角上設(shè)有用于上蓋導(dǎo)柱插入的導(dǎo)孔；水平調(diào)節(jié)模塊放置在上蓋上表面；C型支架的彎折支架前端設(shè)有下壓螺桿，位于水平調(diào)節(jié)模塊正上方。本實(shí)用新型一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，能有效控制光分路器晶圓與蓋板之間層膠的均勻性。