一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822046164.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209261999U 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號 CN209261999U 申請公布日 2019-08-16
分類號 F16B11/00 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 謝燕;劉勇;童嚴;時堯成;戴道鋅 申請（專利權(quán)）人 蘇州天步光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)匯金三路東東南會1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，包括C型支架、底座導軌、晶圓承載臺、真空吸盤、真空導管、上蓋導柱、上蓋、水平調(diào)節(jié)模塊、下壓螺桿；C型支架包括有支架底座和彎折支架，在C型支架的支架底座上設(shè)有兩條底座導軌；晶圓承載臺底部嵌入底座導軌內(nèi)，晶圓承載臺中部設(shè)有真空吸盤，真空導管連接真空吸盤，晶圓承載臺上表面四個角上設(shè)有上蓋導柱；上蓋下表面四個角上設(shè)有用于上蓋導柱插入的導孔；水平調(diào)節(jié)模塊放置在上蓋上表面；C型支架的彎折支架前端設(shè)有下壓螺桿，位于水平調(diào)節(jié)模塊正上方。本實用新型一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，能有效控制光分路器晶圓與蓋板之間層膠的均勻性。