一種石墨件表面沉積碳化硅涂層工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011058293.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112225585B 公開（公告）日 2022-05-20
申請公布號 CN112225585B 申請公布日 2022-05-20
分類號 C04B41/87（2006.01）I;C04B41/91（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 郭泰山;林麗輝;田斌 申請（專利權(quán)）人 賽邁科先進材料股份有限公司
代理機構(gòu) 杭州西木子知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 313100 浙江省湖州市雉城鎮(zhèn)中鋼大道9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種石墨件表面沉積碳化硅涂層工藝，包括以下步驟：石墨件表面除雜、噴淋清洗、沉積反應(yīng)以及石墨件冷卻，本發(fā)明通過在反應(yīng)釜內(nèi)設(shè)置置物臺，置物臺上設(shè)置集液組件及可罩設(shè)在其上的噴淋組件，噴淋組件中環(huán)繞設(shè)置有與集液組件連通的冷卻組件，并且在切換裝置的作用下，噴淋組件和冷卻組件在切換裝置的引導下交替進行單獨工作，使石墨件表面除雜和表面沉積在同一反應(yīng)釜內(nèi)完成，解決了現(xiàn)有技術(shù)中石墨件表面沉積需要在兩個工位中進行導致石墨件轉(zhuǎn)移過程中其表面易出現(xiàn)磨損進而影響沉積效果的技術(shù)問題。