一種單晶硅的生產(chǎn)方法和生產(chǎn)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510638189.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106555224A 公開（公告）日 2017-04-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN106555224A 申請(qǐng)公布日 2017-04-05
分類號(hào) C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 曹文興;朱偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 棗莊市天工新能源器材有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 277100 山東省棗莊市市中區(qū)清泉路30號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單晶硅的生產(chǎn)方法和生產(chǎn)設(shè)備。本發(fā)明以中頻等離子爐、多晶硅鑄錠爐、單晶爐為生產(chǎn)設(shè)備的單晶硅生產(chǎn)方法。中頻等離子爐充分利用等離子爐和中頻感應(yīng)爐的優(yōu)點(diǎn)、用氬氣作為等離子體的工作氣體達(dá)到真空冶煉。精煉提純后的熔硅直接注入多晶硅鑄錠爐。經(jīng)過這一過程實(shí)現(xiàn)P、B、C、O、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)的脫雜，生產(chǎn)出原料多晶硅。再用通用設(shè)備單晶爐將原料多晶硅生產(chǎn)成最終產(chǎn)品單晶硅。本發(fā)明具有設(shè)備結(jié)構(gòu)及工藝簡短、低投入、低能耗、低成本、無污染、高質(zhì)量、高收益、抗御風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)等特點(diǎn)。