一種基于MEMS微振鏡技術的激光散斑消除裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920045431.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209297040U 公開（公告）日 2019-08-23
申請公布號 CN209297040U 申請公布日 2019-08-23
分類號 G02B27/48（2006.01）I; G02B26/08（2006.01）I; G02B26/10（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 金傳廣; 杜先鵬; 郭俊興; 代啟強; 周印偉 申請（專利權）人 青島小優(yōu)智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 266100 山東省青島市高新區(qū)松園路17號青島市工業(yè)技術研究院A區(qū)A1樓3層305.307.309.311房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于MEMS微振鏡技術的激光散斑消除裝置，包括外殼和沿光路依次分布設置的半導體激光器、激光整形系統(tǒng)、雙軸MEMS微振鏡、反饋系統(tǒng)和驅(qū)動控制系統(tǒng)，半導體激光器產(chǎn)生的光束，通過激光整形系統(tǒng)整形后通過雙軸MEMS微振鏡對外進行投射。雙軸MEMS微振鏡消除激光散斑，結(jié)構(gòu)簡單，而且對激光光源的波長沒有要求，任意波長的激光均可實現(xiàn)消散斑效果；雙軸MEMS微振鏡的X軸做掃描運動，獲得所需模式的結(jié)構(gòu)光，結(jié)構(gòu)光模式不限；雙軸MEMS微振鏡的Y軸做鏡面法線方向的上下幅度為波長量級的高頻振動，振動頻率高于X軸的頻率，振動幅度為波長量級，不會對掃描光柵的分布造成影響，實現(xiàn)了獲得高光束質(zhì)量的方法，極大的提高掃描模組的建模精度。