一種快速同步掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720932609.1 申請日 -
公開（公告）號 CN207336469U 公開（公告）日 2018-05-08
申請公布號 CN207336469U 申請公布日 2018-05-08
分類號 G01N33/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 裘揆;張國方;李進春;黃威 申請（專利權(quán)）人 上海和伍精密儀器股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路953弄322號1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種快速同步掃描裝置，包括支撐部件、第一運動機構(gòu)、第二運動機構(gòu)、檢測部件和平衡機構(gòu)，其中：所述第一運動機構(gòu)與所述支撐部件連接，所述檢測部件或檢測樣品與所述第一運動機構(gòu)連接并隨所述第一運動機構(gòu)實現(xiàn)第一方向往復(fù)直線運動；所述第二運動機構(gòu)與所述支撐部件連接，檢測樣品或檢測部件與所述第二運動機構(gòu)并隨所述第二運動機構(gòu)實現(xiàn)第二方向運動；本實用新型裝置，摒棄了常規(guī)的技術(shù)思路即通過柵格掃描模式下的改進，而是第一方向運動和第二方向運動由不同的機構(gòu)執(zhí)行，結(jié)合同步掃描，可以合成預(yù)定的掃描軌跡，從而克服了制約整個行業(yè)進一步發(fā)展的技術(shù)難題。