基于圓柱槽凸輪實(shí)現(xiàn)快速同步掃描的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720932353.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207198097U 公開(kāi)（公告）日 2018-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN207198097U 申請(qǐng)公布日 2018-04-06
分類號(hào) G01N29/06 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張國(guó)方;李進(jìn)春;裘揆;黃威 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海和伍精密儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路953弄322號(hào)1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種基于圓柱槽凸輪實(shí)現(xiàn)快速同步掃描的裝置，包括第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)部件，其中：第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為圓柱槽凸輪機(jī)構(gòu)，第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)檢測(cè)部件、檢測(cè)樣品其中一個(gè)實(shí)現(xiàn)第一方向的往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)、第二方向運(yùn)動(dòng)；第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)合同步掃描，合成預(yù)定的掃描軌跡。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)快速同步掃描，既能保證良好的掃描效果，又能大大提高掃描速度。