觸控傳感器用ITO導(dǎo)電薄膜及其制備方法和觸控屏應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111317287.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113990555A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113990555A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類(lèi)號(hào) H01B5/14（2006.01）I;H01B13/00（2006.01）I;G06F3/041（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 華建軍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 惠州市天譽(yù)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東創(chuàng)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙瑾
地址 516227廣東省惠州市惠陽(yáng)區(qū)鎮(zhèn)隆鎮(zhèn)甘陂村永華工業(yè)園H棟廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于觸控傳感器技術(shù)領(lǐng)域。一種觸控傳感器用ITO導(dǎo)電薄膜，包括基材層，還包括依次沉積于所述基材層表面的接著層、結(jié)晶過(guò)渡層、易結(jié)晶層和金屬導(dǎo)電層；所述結(jié)晶過(guò)渡層為結(jié)晶態(tài)的第一ITO層，所述易結(jié)晶層為非結(jié)晶態(tài)的第二ITO層。本發(fā)明ITO導(dǎo)電薄膜韌性好，透光率高，電阻小，載流子遷移率高，導(dǎo)電性能好。