一種具有紅外加熱裝置的陰極結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821746449.2 申請日 -
公開（公告）號 CN208933464U 公開（公告）日 2019-06-04
申請公布號 CN208933464U 申請公布日 2019-06-04
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 華建軍; 湛克宇 申請（專利權(quán)）人 惠州市天譽(yù)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 惠州創(chuàng)聯(lián)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙瑾
地址 516227 廣東省惠州市惠陽區(qū)鎮(zhèn)隆鎮(zhèn)甘陂村永華工業(yè)園H棟廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種具有紅外加熱裝置的陰極結(jié)構(gòu)，包括靶臺，所述靶臺包括大體呈長方體的外殼、以及設(shè)置在所述外殼內(nèi)的靶材，所述外殼上設(shè)有用于提升陰極溫度的紅外加熱裝置，所述紅外加熱裝置包括座體和加熱件，所述座體與所述外殼連接，所述加熱件固設(shè)在所述座體內(nèi)。本實(shí)用新型通過在陰極的靶臺兩側(cè)設(shè)置紅外加熱裝置，鍍膜時(shí)，可提升陰極鍍膜區(qū)（靶材四周）的溫度，從而縮短陰極預(yù)濺射的時(shí)間，在不浪費(fèi)靶材的前提下制備出高質(zhì)量薄膜，實(shí)現(xiàn)了節(jié)約資源，降低實(shí)驗(yàn)成本，提高效率的目的。