一種可以對花籃頂齒上硅片整成等間距的支撐條

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123319022.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216980512U 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN216980512U 申請公布日 2022-07-15
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳廷斌;張學(xué)強;張建偉;羅銀兵;顧正亞 申請（專利權(quán)）人 羅博特科智能科技股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭港浪路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于硅片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種可以對花籃頂齒上硅片整成等間距的支撐條，包括固接在固定擋板上的支撐條本體，且所述支撐條本體遠離于固定擋板的一側(cè)活動連接有輔助支撐條；所述支撐條本體的頂端開設(shè)有間距相同的若干組一號限位槽，且所述支撐條本體遠離于固定擋板的側(cè)壁上固接有三組等間距布置的限位塊；通過支撐條本體表面上開設(shè)的等間距布置的一號限位槽以及輔助支撐條表面上開設(shè)的等間距布置的二號限位槽，能夠在將其固定在固定擋板上后，利用“V”型結(jié)構(gòu)的一號限位槽或是二號限位槽對硅片進行精準定位，確保相鄰硅片等間距布置在支撐條上，有利于避免由于硅片位置不定而影響后續(xù)硅片加工的問題發(fā)生。