一種可以同時(shí)頂起兩張二分之一硅片的快插式頂齒機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123302166.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN216719918U 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號(hào) CN216719918U 申請公布日 2022-06-10
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳廷斌;張學(xué)強(qiáng);張建偉;羅銀兵;顧正亞 申請（專利權(quán)）人 羅博特科智能科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭港浪路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于工業(yè)非標(biāo)設(shè)備領(lǐng)域，具體的說是一種可以同時(shí)頂起兩張二分之一硅片的快插式頂齒機(jī)構(gòu)，包括頂出固定板、安裝孔、滑塊安裝槽和頂齒單元；所述頂出固定板上開設(shè)有滑塊安裝槽；所述頂出固定板上對應(yīng)滑塊安裝槽開設(shè)有多個(gè)安裝孔；所述頂出固定板上設(shè)有頂齒單元；所述頂齒單元包括對稱固定槽、底座板和支撐架；所述頂出固定板上對稱開設(shè)有對稱固定槽；通過分隔軸使得每個(gè)硅片可以被限制在對應(yīng)的空間內(nèi)，然后在分隔軸之間的距離下，可以方便使用機(jī)械手進(jìn)行抓取，同時(shí)對稱的支撐架使得可以同時(shí)的頂出兩片硅片，同時(shí)整體的裝置輕便，方便通過絲桿螺母副進(jìn)行精確的上下運(yùn)動(dòng)，從而可以配合機(jī)械手的上下料動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)高效率的上下硅片。