一種一體式龍門架硅片排齊裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122787853.2 申請日 -
公開(公告)號 CN216719967U 公開(公告)日 2022-06-10
申請公布號 CN216719967U 申請公布日 2022-06-10
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳廷斌;張學強;張建偉;羅銀兵;顧正亞 申請(專利權)人 羅博特科智能科技股份有限公司
代理機構 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭港浪路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種一體式龍門架硅片排齊裝置,包括龍門架本體和設置在龍門架橫梁上的花籃硅片排齊單元和舟硅片排齊單元;其中花籃硅片排齊單元通過驅動源和同步帶的方式,帶動第一加緊板和第二加緊板水平運動完成硅片的抓取動作,舟硅片單元則是通過兩組相對設置的氣缸的伸縮完成硅片的住區(qū)動作。本實用新型通過將花籃硅片排齊單元和舟硅片排齊單元集成在龍門架橫梁上,結構簡單,占地面積小,僅通過兩組驅動源就可以完成硅片排齊的動作,方便調試。