單晶爐除塵裝置和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021986652.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213624466U 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213624466U 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 董升;李僑;徐戰(zhàn)軍;賀瑞環(huán);卓珍珍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 騰沖隆基硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙娟
地址 變更后權(quán)利人:678014 云南省保山市騰沖市騰越鎮(zhèn)上綺羅社區(qū)栗樹園小區(qū)114號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種單晶爐除塵裝置和系統(tǒng)，裝置包括過(guò)濾罐和第一灰塵緩存結(jié)構(gòu)，其中，所述過(guò)濾罐包括第一排污口；所述第一灰塵緩存結(jié)構(gòu)與所述第一排污口連接，所述第一灰塵緩存結(jié)構(gòu)可與外部抽真空設(shè)備連接，所述第一灰塵緩存結(jié)構(gòu)包括內(nèi)腔，在所述抽真空設(shè)備對(duì)所述第一灰塵緩存結(jié)構(gòu)和所述過(guò)濾罐抽真空的情況下，所述內(nèi)腔可緩存所述過(guò)濾罐中抽出的灰塵。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)有效減少或消除進(jìn)入抽真空設(shè)備的灰塵，延長(zhǎng)了抽真空設(shè)備的工作時(shí)間，降低清理抽真空設(shè)備的頻率，清理工作量有效減小，單晶爐的生產(chǎn)效率獲得極大提高。