一種太陽能電池硅片干燥或固化用烘箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020541378.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213767785U 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN213767785U 申請公布日 2021-07-23
分類號 B41F23/04（2006.01）I;B41F33/00（2006.01）I 分類 印刷；排版機(jī)；打字機(jī)；模印機(jī)〔4〕;
發(fā)明人 上官泉元;莊正軍;鄒開封;范恒靈 申請（專利權(quán)）人 常州比太科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳倩
地址 213164江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種太陽能電池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱體，箱體具有進(jìn)板門閥一及出板門閥一，以及進(jìn)氣管道和出氣管道；箱體內(nèi)設(shè)置有升降承托機(jī)構(gòu)以用于沿垂直方向平行并列設(shè)置多排用于載板承托的載板支架；對應(yīng)每排載板支架的上下兩側(cè)均設(shè)置有加熱板；還具有裝載腔；裝載腔具有進(jìn)板門閥二及對應(yīng)進(jìn)板門閥一的出板門閥二；裝載腔通過真空閥一連通至抽真空設(shè)備；箱體的出氣管道通過真空閥二連通至裝載腔。該實用新型通過多層硅片平躺式放置加熱烘干，且雙面同時加熱可以確保硅片均勻加熱而實現(xiàn)快速干燥；揮發(fā)的有機(jī)氣體可以通過真空抽氣和進(jìn)氣的方式均勻有效的抽出而不需要大量吹氣，有效減少了吹氣能耗，且具有高產(chǎn)能、占地少的優(yōu)點(diǎn)。