一種用于太陽能電池片鍍膜和光注入的集成設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023169566.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214152925U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214152925U 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;鄒開峰 申請（專利權）人 常州比太科技有限公司
代理機構 北京集智東方知識產權代理有限公司 代理人 吳倩
地址 213164江蘇省常州市武進高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于太陽能電池片鍍膜和光注入的集成設備，包括一體依次設置的TCO鍍膜腔及光注入退火腔，對應TCO鍍膜腔及光注入退火腔的輸送機構，以及設置在輸送機構上的用于硅片承載的載板。本實用新型通過將TCO鍍膜及光注入退火兩道工序集成在一臺設備中，降低了設備投入，電池制造成本隨之降低；利用平躺式載板運輸硅片以實現鏈式連續(xù)運行，工序整合程度提高，制程周期縮短，規(guī)避了硅片上下料的周轉、設備維護等問題，人工成本降低，生產效率和產品良率提升；在印刷銀線前先完成光注入退火，使銀線固化條件容易優(yōu)化達到最佳，由此解決了現有技術中光注入退火工序導致的銀線與硅片粘結強度下降的問題。