一種用于太陽(yáng)能電池片鍍膜和光注入的集成設(shè)備和工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011544481.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112582504A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112582504A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 上官泉元;鄒開峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常州比太科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集智東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 吳倩 |
| 地址 | 213164江蘇省蘇州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于太陽(yáng)能電池片鍍膜和光注入的集成設(shè)備和工藝，包括硅片上料機(jī)構(gòu)以將硅片平放在平躺的載板上進(jìn)行上料并由鏈?zhǔn)絺鬏敊C(jī)構(gòu)輸送載板進(jìn)入裝載真空腔；載板進(jìn)入TCO鍍膜腔內(nèi)進(jìn)行TCO鍍膜；載板進(jìn)入光注入退火腔內(nèi)進(jìn)行光注入退火；載板進(jìn)入卸載真空腔內(nèi)進(jìn)行大氣回填；采用硅片下料機(jī)構(gòu)將硅片下料；空的載板經(jīng)載板回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)回傳到上料端。本發(fā)明將TCO鍍膜及光注入退火兩道工序集成在一臺(tái)設(shè)備中，利用平躺式載板以實(shí)現(xiàn)鏈?zhǔn)竭B續(xù)運(yùn)行，在印刷銀線前先完成光注入退火，工序整合度高，降低了設(shè)備投入，制程周期縮短，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率提升，電池制造成本隨之降低，解決了現(xiàn)有技術(shù)光注入退火工序?qū)е碌你y線與硅片粘結(jié)強(qiáng)度下降的問題。?? |
