一種太陽能電池AZO+SiN疊層保護膜的鍍制設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110104079.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112795872A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112795872A 申請公布日 2021-05-14
分類號 C23C14/08;C23C14/06;C23C16/34;C23C16/50;C23C14/35;C23C28/04;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 閆路;上官泉元 申請（專利權）人 常州比太科技有限公司
代理機構 北京集智東方知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 吳倩
地址 213164 江蘇省常州市武進高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能電池AZO+SiN疊層保護膜的鍍制設備，包括依次設置的AZO鍍膜區(qū)及SiN鍍膜區(qū)，以及對應AZO鍍膜區(qū)及SiN鍍膜區(qū)的鏈式傳輸機構，裝載有硅片的載板平躺在鏈式傳輸機構上依次經(jīng)過AZO鍍膜區(qū)及SiN鍍膜區(qū)。本發(fā)明在同一臺設備中同時實現(xiàn)AZO和SiN鍍膜，工序整合度高，制程周期短，極大降低了設備和人工成本投入，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率得到有效提升，從而有效降低了太陽能電池制造成本；且AZO+SiN疊層保護膜同時具備良好的導電性和透光性，可以減薄摻雜非晶硅厚度以提高太陽光利用率并增加發(fā)電量，能夠跟銀或其它金屬形成良好的歐姆接觸以使接觸電阻減少而進一步提升了電池效率。