一種太陽能電池發(fā)射結(jié)制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110281240.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113066896A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113066896A 申請公布日 2021-07-02
分類號 H01L31/18;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 閆路;上官泉元 申請（專利權(quán)）人 常州比太科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳倩
地址 213164 江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能電池發(fā)射結(jié)制備方法，包括如下步驟：S1.預(yù)先采用下鍍膜的真空鍍膜方式在硅片表面制備摻雜非晶硅薄膜，即硅片平躺放置在載板上，硅片邊緣被載板托舉覆蓋，摻雜非晶硅薄膜沉積在硅片的下表面；S2.進(jìn)入高溫爐中進(jìn)行擴(kuò)散；S3.擴(kuò)散完成后降低爐溫，在高溫爐里通入氧氣對摻雜非晶硅薄膜進(jìn)行氧化處理，便于下一道清洗；S4.硅片出爐冷卻、清洗，完成發(fā)射結(jié)制備。本發(fā)明通過下鍍膜的真空鍍膜方式，保護(hù)硅片邊緣防止繞鍍，簡化后續(xù)清洗工藝步驟；降低了擴(kuò)散溫度，減小了對硅基體造成的熱損傷，有利于電池效率的提升，降低了制造能耗，有利于成本控制；總工藝時間縮減至現(xiàn)有技術(shù)的1/2，生產(chǎn)效率顯著提升。