基于高折射率差超結(jié)構(gòu)的光學(xué)傳感器及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210472763.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114689543A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114689543A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01N21/41（2006.01）I;G01N21/59（2006.01）I;G01N21/25（2006.01）I;G02B5/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 房文敬;畢麗平;范鑫燁;牛慧娟;白成林;張霞;楊立山 申請（專利權(quán)）人 聊城大學(xué)
代理機(jī)構(gòu) 深圳叁眾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 252000山東省聊城市東昌府區(qū)湖南路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于高折射率差超結(jié)構(gòu)的光學(xué)傳感器及制作方法，涉及光學(xué)傳感技術(shù)領(lǐng)域，具體屬于一種基于高折射率差超結(jié)構(gòu)的光學(xué)傳感器及制作方法。包括介質(zhì)基底和超結(jié)構(gòu)，超結(jié)構(gòu)為全介質(zhì)材料構(gòu)成的光柵單元，所述的光柵單元在介質(zhì)基底上等間距分布，并在X方向周期性排列。本發(fā)明采用高折射率的全介質(zhì)材料，能夠避免金屬材料引起的歐姆損耗，在實(shí)現(xiàn)高靈敏度的同時，還能將檢測波長范圍擴(kuò)展至近紅外波段。