一種短相干泰曼干涉的色散補償方法及測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911103516.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110595352A 公開（公告）日 2019-12-20
申請公布號 CN110595352A 申請公布日 2019-12-20
分類號 G01B9/02（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱秋東; 苑靜; 張喆民; 王姍姍; 劉彬; 王偉志 申請（專利權(quán)）人 北京奧博泰測控技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 102400北京市房山區(qū)弘安路85號2號樓4層420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種短相干泰曼干涉的色散補償方法及測量裝置。色散補償方法為在短相干泰曼干涉儀中設置可旋轉(zhuǎn)的細調(diào)補償板和可更換的粗調(diào)補償板，通過旋轉(zhuǎn)細調(diào)補償板改變其法線方向與所在光路光軸的夾角大小和更換不同厚度的粗調(diào)補償板，實現(xiàn)參考光和測試光之間各波長光程差為零，進行色散補償。本發(fā)明操作方便，可實現(xiàn)連續(xù)可調(diào)測量不同厚度透明平板樣品的透射波像差。