一種潘寧離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921701555.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211227314U 公開（公告）日 2020-08-11
申請公布號 CN211227314U 申請公布日 2020-08-11
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 劉慧超;陳朝斌 申請（專利權(quán)）人 東莞東陽光高能醫(yī)療設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 523808廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)光大We谷A1棟1318號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于離子源裝置技術(shù)領(lǐng)域，公開一種潘寧離子源，包括等離子腔體，所述等離子腔體包括同軸設(shè)置且依次連接的第一殼體、第二殼體、第三殼體；所述第一殼體的頂端設(shè)置有陰極元件，所述第二殼體內(nèi)設(shè)置有陽極元件，所述第二殼體外設(shè)置有磁場機(jī)構(gòu)，所述第三殼體內(nèi)設(shè)置有對陰極元件；所述潘寧離子源還包括冷卻腔體，所述冷卻腔體設(shè)置在所述第一殼體頂部，所述冷卻腔體內(nèi)的冷卻液與所述第一殼體的頂端接觸并將所述陰極元件覆蓋在內(nèi)。本實(shí)用新型的一種潘寧離子源，設(shè)置有冷卻腔體，注入液體后可以使等離子腔體的密封度增加，在冷卻等離子腔體的同時達(dá)到密封效果。??