一種用于硅片的翻面機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820881145.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208433395U 公開（公告）日 2019-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN208433395U 申請(qǐng)公布日 2019-01-25
分類號(hào) H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強(qiáng);鄭楷熠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智勝聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出一種用于硅片的翻面機(jī)構(gòu)，包括硅片翻面裝置和硅片橫移裝置，硅片翻面裝置包括第一安裝板、第一連接板、第二連接板、第一固定板、第二固定班、主動(dòng)軸、聯(lián)軸器、第一驅(qū)動(dòng)裝置和底板，硅片橫移裝置包括連接塊、滑塊、滑軌和第二驅(qū)動(dòng)裝置；第一安裝板具有第一端部和第二端部，第一端部上設(shè)有多個(gè)支撐件，支撐件用于放置硅片；第二端部分別與第一連接板和第二連接板連接，主動(dòng)軸依次貫穿第一固定板、第一連接板、第二連接板和第二固定板；聯(lián)軸器用于連接第一驅(qū)動(dòng)裝置和主動(dòng)軸；底板設(shè)有第一面和第二面，第一固定板、第二固定板分別與第一面連接；連接塊分別與第二驅(qū)動(dòng)裝置，滑塊和第二面連接，滑塊與滑軌活動(dòng)連接。