一種硅片生產(chǎn)流水線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810569965.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110571164A 公開（公告）日 2019-12-13
申請公布號 CN110571164A 申請公布日 2019-12-13
分類號 H01L21/67（2006.01）; H01L21/677（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李思泉; 陳海國; 肖俊琳; 鐘雄雄; 尹小玲; 李偉強; 鄭楷熠 申請（專利權(quán)）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市智勝聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種硅片生產(chǎn)流水線，包括第一涂源烘干組件和第二涂源烘干組件，所述第一涂源烘干組件包括第一涂源機構(gòu)、第一廢液收集桶、第一風機，第一烘干爐、第一硅片翻面機構(gòu)和一號機器人，所述第二涂源烘干組件包括第二涂源機構(gòu)、第二廢液收集桶、第二風機、第二烘干爐、第二硅片翻面機構(gòu)和二號機器人，所述第二廢液收集桶和所述第二涂源機構(gòu)連接，所述硅片生產(chǎn)流水線還包括墊板，所述墊板被劃分為上料區(qū)、工作區(qū)和出料區(qū)，所述上料區(qū)上設(shè)有有花籃翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、所述出料區(qū)設(shè)有硅片灑粉機構(gòu)、四軸機器人和托盤輸送機構(gòu)，所述花籃翻轉(zhuǎn)裝置能夠?qū)⒀b滿硅片的花籃進行90度翻轉(zhuǎn)，所述硅片灑粉機構(gòu)位于所述第二硅片翻面機構(gòu)和所述四軸機器人之間。