一種硅片生產流水線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820881050.9 申請日 -
公開（公告）號 CN208433377U 公開（公告）日 2019-01-25
申請公布號 CN208433377U 申請公布日 2019-01-25
分類號 H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠 申請（專利權）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機構 深圳市智勝聯(lián)合知識產權代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種硅片生產流水線，包括第一涂源烘干組件和第二涂源烘干組件，所述第一涂源烘干組件包括第一涂源機構、第一廢液收集桶、第一風機，第一烘干爐、第一硅片翻面機構和一號機器人，所述第二涂源烘干組件包括第二涂源機構、第二廢液收集桶、第二風機、第二烘干爐、第二硅片翻面機構和二號機器人，所述第二廢液收集桶和所述第二涂源機構連接，所述硅片生產流水線還包括墊板，所述墊板被劃分為上料區(qū)、工作區(qū)和出料區(qū)，所述上料區(qū)上設有有花籃翻轉機構、所述出料區(qū)設有硅片灑粉機構、四軸機器人和托盤輸送機構，所述花籃翻轉裝置能夠將裝滿硅片的花籃進行90度翻轉，所述硅片灑粉機構位于所述第二硅片翻面機構和所述四軸機器人之間。