一種硅片灑粉裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820880127.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208661623U 公開（公告）日 2019-03-29
申請公布號 CN208661623U 申請公布日 2019-03-29
分類號 B05C19/04（2006.01）I; B05C19/06（2006.01）I; B05C13/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 李思泉; 陳海國; 肖俊琳; 鐘雄雄; 尹小玲; 李偉強; 鄭楷熠 申請（專利權(quán)）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市智勝聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種硅片灑粉裝置，包括漏斗，漏斗擋板，篩網(wǎng)、硅片固定座、滑動裝置、驅(qū)動裝置和定位裝置，所述滑動裝置包括滑軌與滑塊，所述滑軌與所述滑塊卡合連接，所述滑塊包括第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊上設(shè)有支撐塊，所述支撐塊與所述漏斗擋板連接，所述第二滑塊與所述篩網(wǎng)連接，所述漏斗設(shè)在所述漏斗擋板上；所述驅(qū)動裝置還包括第一電機和第二電機，所述第一電機與所述漏斗擋板連接，所述第一電機帶動所述漏斗擋板沿所述滑軌做往復運動，所述第二電機與所述篩網(wǎng)連接，所述第二電機帶動所述篩網(wǎng)沿所述滑軌做往復運動；所述硅片固定座位于所述篩網(wǎng)的正下方，所述硅片固定座用于放置硅片，所述定位裝置用于限定硅片的位置。