一種硅片緩存裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820866937.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208433391U 公開（公告）日 2019-01-25
申請公布號 CN208433391U 申請公布日 2019-01-25
分類號 H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠 申請（專利權(quán)）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市智勝聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種硅片緩存裝置，所述硅片緩存裝置包括：支撐臺、第一存儲架及第二存儲架；所述支撐臺包括：底板及安裝板；所述安裝板與所述底板相互垂直，所述底板和所述安裝板一體成型，所述第一存儲架和所述第二存儲架均垂直固定安裝在所述安裝板上，所述第一存儲架、所述第二存儲架和所述底板相互平行，所述第一存儲架上設(shè)有貫穿所述第一儲存架的上凹槽，所述第二存儲架上設(shè)有貫穿所述第二存儲架的下凹槽，所述上凹槽與所述下凹槽位于同一直線上；本實用新型提出的一種硅片緩存裝置，具有自動雙向緩存硅片和自動雙向去緩存的功能，采用自動化設(shè)計，降低了人工成本，提高了工作效率。