一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820867208.7 申請日 -
公開（公告）號 CN208433392U 公開（公告）日 2019-01-25
申請公布號 CN208433392U 申請公布日 2019-01-25
分類號 H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠 申請（專利權(quán)）人 深圳市旭控科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市智勝聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市旭控科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道辦事處富康社區(qū)和恒興科技園C棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)裝置，包括花籃、傳送機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述傳送機構(gòu)包括支撐部、第一主動軸組件和第二主動軸組件；所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)能夠帶動所述傳送機構(gòu)90度翻轉(zhuǎn)；所述支撐部包括背板，頂板和底板，所述背板分別與所述頂板和所述頂板連接，所述頂板上連接有花籃固定塊，所述花籃固定塊用于所述花籃的定位。