多片大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜基片夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610182836.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105734564B 公開（公告）日 2018-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN105734564B 申請(qǐng)公布日 2018-06-26
分類號(hào) C23C26/00;H01L39/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王三勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京鼎臣石墨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中企鴻陽(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉葛;郭鴻雁
地址 100094 北京市海淀區(qū)永豐產(chǎn)業(yè)基地永澤北路7號(hào)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于利用化學(xué)溶液法批量化生產(chǎn)大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜技術(shù)領(lǐng)域，目的是提供一種使用方便、提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本的新型多片大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜基片夾具，基片夾包括多個(gè)半圓形固定夾具和半圓形活動(dòng)夾具，實(shí)現(xiàn)了一次燒制多片超導(dǎo)薄膜基片，提高了超導(dǎo)薄膜的生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，不損傷樣品，同時(shí)保證了樣品的批次一致性。使用時(shí)先用鑷子夾持基片放入半圓形固定夾具的第一固定爪內(nèi)，用鑷子固定，然后將半圓形活動(dòng)夾具與半圓形固定夾具扣合，使基片處于基片夾的四個(gè)固定爪內(nèi)，將第一連接耳和第二連接耳固定在一起，即可將半圓形活動(dòng)夾具與半圓形固定夾具組裝在一起，無(wú)需進(jìn)行多余的調(diào)整，安裝非常方便，節(jié)約了安裝時(shí)間。