一種圖形襯底的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201210069278.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN103311384A | 公開（公告）日 | 2013-09-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103311384A | 申請(qǐng)公布日 | 2013-09-18 |
| 分類號(hào) | H01L33/00(2010.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鐘偉榮;熊威;趙常寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海藍(lán)寶光電材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種圖形襯底的制作方法，包括的步驟有：在襯底上利用旋轉(zhuǎn)機(jī)涂布光刻膠，將平行四邊形曝光單元拼接于襯底上，將光刻板上的圖形采用步進(jìn)投影的方式曝光襯底上的光刻膠，曝光完成顯影后，襯底上形成圖案化光刻膠，利用ICP干刻蝕系統(tǒng)，實(shí)施襯底圖形化刻蝕，轉(zhuǎn)移圖案化光刻膠的圖形至襯底上。圖形襯底采用平行四邊形的曝光單元拼接，使得所有圖形都可在一個(gè)曝光單元完成，曝光單元之間的拼接位置沒(méi)有圖形存在，所以沒(méi)有圖形因拼接造成失真的問(wèn)題。 |
