一種銀復(fù)合膜層刻蝕劑及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110452245.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113150786A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113150786A 申請公布日 2021-07-23
分類號 C09K13/06;C23F1/30 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 魯晨泓;尹淞;劉江華;張建 申請（專利權(quán)）人 芯越微電子材料（嘉興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314200 浙江省嘉興市平湖市鐘埭街道新明路901號3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種銀復(fù)合膜層刻蝕劑及其制備方法，包括磷酸、硝酸、醋酸以及緩沖劑；以重量百分比為計，磷酸為30?60％、硝酸為2?20％、醋酸為12?40％、緩沖劑為0.01?10％和去離子水5?50％。本發(fā)明可以將金屬銀及其氧化物轉(zhuǎn)化為可溶于水的鹽，反應(yīng)穩(wěn)定性性高、對同一襯底上的金屬銀及其氧化的刻蝕速率基本一致、刻蝕速率可控性高、對小顆粒銀殘留問題得到根本改善、反應(yīng)穩(wěn)定性性高，避免沉淀附著影響刻蝕效率及表面平整度；在使用過程中無特殊限制，可采用侵泡式、噴淋式或侵泡噴淋組合式；可實現(xiàn)復(fù)合膜層一步刻蝕、刻蝕穩(wěn)定性高、改善銀鹽附著現(xiàn)象明顯。