一種一體化混料設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202023159460.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN214287761U | 公開（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請公布號 | CN214287761U | 申請公布日 | 2021-09-28 |
| 分類號 | B01F7/18（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 賈亞軍;孫炳良;劉素華;於婷 | 申請（專利權(quán)）人 | 芯越微電子材料（嘉興）有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 314200浙江省嘉興市平湖市鐘埭街道新明路901號3號樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種一體化混料設(shè)備，包括設(shè)備主體；所述設(shè)備主體包括混配釜、氣動攪拌泵、氣動攪拌泵進氣閥門、進氣閥門、油水分離器、氣動送料泵進氣閥門、氣動送料泵、進料口閥門、混配釜出料閥門、混配釜進料閥門、出料口閥門、過濾器；本實用新型開發(fā)了一種可封閉式作業(yè)，以及封閉式內(nèi)部循環(huán)過濾的設(shè)備，使用本一體化混料設(shè)備生產(chǎn)出的產(chǎn)品具體灰分低，水含量可控的優(yōu)點，能滿足半導(dǎo)體對于微電子產(chǎn)品的苛刻要求。 |
