一種超結(jié)器件的結(jié)終端結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310489678.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103560148B 公開（公告）日 2016-03-23
申請公布號 CN103560148B 申請公布日 2016-03-23
分類號 H01L29/40(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜貫軍;陳橋梁;陳仕全;馬治軍;張園園;杜忠鵬 申請（專利權(quán)）人 西安龍飛電氣技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安新思維專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 西安龍騰新能源科技發(fā)展有限公司;陜西龍飛新能源科技有限公司;龍騰半導(dǎo)體股份有限公司;西安龍飛電氣技術(shù)有限公司
地址 710021 陜西省西安市鳳城十二路1號出口加工區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種超結(jié)器件的結(jié)終端結(jié)構(gòu)及其制造方法。超結(jié)器件的結(jié)終端結(jié)構(gòu)通常采用多個(gè)與元胞區(qū)基本相同的多個(gè)P柱，對于結(jié)終端區(qū)域的有效電場分量從硅外延層體內(nèi)的縱向電場逐漸過渡到表面的橫向電場，因而傳統(tǒng)的超結(jié)器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)不能很好地承受較高的擊穿電壓。本發(fā)明超結(jié)器件的結(jié)終端區(qū)設(shè)置數(shù)個(gè)間隔的P柱，每個(gè)P柱內(nèi)通過設(shè)置不連續(xù)的二氧化硅隔離區(qū)將P柱分隔成多段P柱區(qū)。本發(fā)明超結(jié)器件的結(jié)終端結(jié)構(gòu)能夠更好地實(shí)現(xiàn)電勢分布，減小了超結(jié)器件的結(jié)終端的面積，從而減小了超結(jié)器件的制作成本。