一種平面等厚介質(zhì)折射率的校準裝置及校準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111071946.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113514425B 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113514425B 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01N21/41（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州高視半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號11幢9層903室、904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例公開了一種平面等厚介質(zhì)折射率的校準裝置及校準方法，該校準裝置包括光譜共焦傳感器光譜儀及調(diào)距機構(gòu)，其中，所述光譜共焦傳感器包括白光點光源、半透半反射鏡及色散物鏡；所述半透半反射鏡和色散物鏡在白光點光源和被測介質(zhì)之間沿光軸依次設(shè)置，所述半透半反射鏡靠近白光點光源，所述色散物鏡靠近被測介質(zhì)側(cè)；根據(jù)檢測得到的6個不同波長中的中間4個波長折射率計算出被測介質(zhì)的折射率曲線，隨后使用兩端波長折射率進行校準。根據(jù)本發(fā)明，其能夠通過對復(fù)消色差特性公式中波長項系數(shù)進行修正來提高預(yù)測折射率曲線的精度，進而得到被測樣品準確的折射率公式，同時得到該樣品準確的折射率曲線。