一種平面等厚介質(zhì)折射率的測(cè)量裝置及測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111071911.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113514424B 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113514424B 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) G01N21/41（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州高視半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號(hào)11幢9層903室、904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)的實(shí)施例公開了一種平面等厚介質(zhì)折射率的測(cè)量裝置及測(cè)量方法，測(cè)量裝置包括光譜共焦傳感器、光譜儀及調(diào)距機(jī)構(gòu)，所述光譜共焦傳感器包括白光點(diǎn)光源、半透半反射鏡及色散物鏡；所述半透半反射鏡和色散物鏡在白光點(diǎn)光源和被測(cè)介質(zhì)之間沿光軸依次設(shè)置；所述調(diào)距機(jī)構(gòu)驅(qū)使所述光譜共焦傳感器與被測(cè)介質(zhì)兩者彼此靠近或遠(yuǎn)離以使得所述色散物鏡與被測(cè)介質(zhì)的距離沿著光軸變化3次；所述光譜儀與所述半透半反射鏡的反射面相對(duì)，用于檢測(cè)在被測(cè)介質(zhì)上聚焦并反射回的上下兩個(gè)表面的波長(zhǎng)；根據(jù)檢測(cè)得到的4個(gè)不同波長(zhǎng)計(jì)算出被測(cè)介質(zhì)的折射率曲線。根據(jù)本發(fā)明，其具有檢測(cè)效率高、誤差小的優(yōu)點(diǎn)。