一種球面元件介質(zhì)折射率的測量裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111072337.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113514426B 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113514426B 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01N21/41（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州高視半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號11幢9層903室、904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請的實(shí)施例公開了一種球面元件介質(zhì)折射率的測量裝置及測量方法，測量裝置包括光譜共焦傳感器、光譜儀及調(diào)距機(jī)構(gòu)，所述光譜共焦傳感器包括白光點(diǎn)光源、半透半反射鏡及色散物鏡；所述半透半反射鏡和色散物鏡在白光點(diǎn)光源和被測球面元件介質(zhì)之間沿光軸依次設(shè)置；所述調(diào)距機(jī)構(gòu)驅(qū)使所述光譜共焦傳感器與被測球面元件介質(zhì)兩者彼此靠近或遠(yuǎn)離以使得所述色散物鏡與被測球面元件介質(zhì)的距離沿著光軸變化4次；所述光譜儀與所述半透半反射鏡的反射面相對，用于檢測在被測球面元件介質(zhì)上聚焦并反射回的上下兩個(gè)表面的波長；根據(jù)檢測得到的5個(gè)不同波長計(jì)算出被測球面元件介質(zhì)的折射率曲線。根據(jù)本發(fā)明，其具有檢測效率高、誤差小的優(yōu)點(diǎn)。