直拉單晶生長(zhǎng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN02285928.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN2576728Y 公開(kāi)（公告）日 2003-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN2576728Y 申請(qǐng)公布日 2003-10-01
分類號(hào) C30B15/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 王永鴻 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大慶佳昌科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京元中知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 王明霞
地址 100074北京市豐臺(tái)區(qū)云崗南區(qū)13樓1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種直拉單晶生長(zhǎng)裝置，其包括籽晶桿、坩堝和連接于坩堝底部的坩堝桿，所述的坩堝的上面設(shè)有用于密封坩堝的熱壁密封蓋，所述的熱壁密封蓋和坩堝連接部位設(shè)有動(dòng)態(tài)密封裝置，所述籽晶桿穿過(guò)熱壁密封蓋伸入坩堝室內(nèi)并與熱壁密封蓋連為一體。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有的直拉單晶生長(zhǎng)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、密封環(huán)節(jié)多的問(wèn)題，只需在熱壁密封蓋和坩堝連接部位一處設(shè)有動(dòng)態(tài)密封裝置即可以實(shí)現(xiàn)密封，克服了現(xiàn)有直拉單晶生長(zhǎng)裝置因密封環(huán)節(jié)多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜而帶來(lái)的成本增加、重復(fù)性差、不適于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)、并且難以保證良好的密封效果等缺陷。