可降低閾值電流的巴條類半導(dǎo)體激光器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011563411.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112688165A 公開(kāi)(公告)日 2021-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN112688165A 申請(qǐng)公布日 2021-04-20
分類號(hào) H01S5/20(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/12(2021.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 毛森;邱智賢;毛虎;焦英豪;譚武烈 申請(qǐng)(專利權(quán))人 勒威半導(dǎo)體技術(shù)(嘉興)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市特訊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陸麗芳
地址 314200浙江省嘉興市平湖市鐘埭街道福善線鐘南段288號(hào)智創(chuàng)園G2棟1-2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種可降低閾值電流的巴條類半導(dǎo)體激光器及其制備方法,半導(dǎo)體激光器包括第一電極、第二電極、設(shè)于第一電極及第二電極之間且從第一電極朝向第二電極方向依次設(shè)置的襯底、第一限制層、第一波導(dǎo)層、有源層、第二波導(dǎo)層、第二限制層、歐姆接觸層和絕緣層,所述歐姆接觸層設(shè)有與第二限制層接觸的X射線自支撐閃耀透射光柵層,所述襯底上接觸面設(shè)有梯形臺(tái),梯形臺(tái)橫向平行于襯底的解理面,梯形臺(tái)縱向垂直于襯底的解理面,且解理面是半導(dǎo)體激光器的腔面。本發(fā)明可以降低閾值電流,提高腔面COD功率。還能提高半導(dǎo)體激光器的高分辨率和獲得較高的衍射效率。??