一種半導(dǎo)體激光器的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011511301.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112636162A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112636162A 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01S5/0232;H01S5/02345;H01S5/024;H01S5/026 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 毛虎;邱智賢;毛森;焦英豪 申請（專利權(quán)）人 勒威半導(dǎo)體技術(shù)（嘉興）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市特訊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陸麗芳
地址 314200 浙江省嘉興市平湖市鐘埭街道福善線鐘南段288號智創(chuàng)園G2棟1-2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體激光器的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法，半導(dǎo)體激光器的封裝結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體激光器、半導(dǎo)體制冷器和設(shè)于半導(dǎo)體激光器與半導(dǎo)體制冷器之間的金屬層，所述半導(dǎo)體制冷器包括硅襯底、設(shè)于硅襯底上的金屬電極、沉積于金屬電極上的半導(dǎo)體熱電材料和刻蝕于半導(dǎo)體熱電材料上的P?N結(jié)構(gòu)，所述半導(dǎo)體激光器包括第一電極、第二電極、設(shè)于第一電極及第二電極之間且從第一電極朝向第二電極方向依次設(shè)置的襯底、第一限制層、第一波導(dǎo)層、有源區(qū)、第二波導(dǎo)層、第二限制層、歐姆接觸層和歐姆接觸層與第二限制層接觸的透射光柵層。本發(fā)明使封裝的半導(dǎo)體激光器體積減小，提高激光器的性能。