甩干機(jī)清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023093457.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213781996U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213781996U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭東;肖迪 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 青島華芯晶電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島發(fā)思特專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 趙偉敏 |
| 地址 | 266000山東省青島市高新區(qū)河?xùn)|路383號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及甩干機(jī)清洗裝置。該裝置包括甩干機(jī)機(jī)體，甩干機(jī)機(jī)體內(nèi)部設(shè)置有向上開(kāi)口的甩干腔，甩干腔的內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)筒，甩干腔底部設(shè)有與外界連通的排污口，所述甩干機(jī)機(jī)體頂部設(shè)置有頂梁，甩干機(jī)機(jī)體底部設(shè)置有電機(jī)，電機(jī)的輸出端連接有驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸從下至上貫通甩干腔，驅(qū)動(dòng)軸頂部與頂梁中心轉(zhuǎn)動(dòng)連接；驅(qū)動(dòng)軸與轉(zhuǎn)筒的底部相固接；甩干腔內(nèi)設(shè)置有水管，水管沿驅(qū)動(dòng)軸側(cè)壁由上至下延伸入轉(zhuǎn)筒中，水管另一端連接有水箱，水管與水箱之間設(shè)置電磁閥。該清洗裝置，借助頂梁，將驅(qū)動(dòng)軸的上下兩端用軸承座支撐，當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸和轉(zhuǎn)筒旋轉(zhuǎn)時(shí)，整體動(dòng)態(tài)平衡，不易發(fā)生偏斜，提高清洗和甩干效果，提高設(shè)備的使用壽命。 |
